用椭圆偏振测量法分析碲镉汞的组分及其均匀性

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a595420725

【摘要】

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简略介绍了椭偏仪的测量原理和测量装置。分析了Hg1-xCdxTe(MCT)的组分与椭偏仪的参数Δ和ψ之间的关系，结果发现碲镉汞的组分x主要与椭偏仪的参数ψ有关，而且x与ψ的经验关系

【作者】

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黄仕华蔡毅钱晓凡陈永安

【机构】

：

昆明理工大学理学院,昆明物理研究所

【出处】

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半导体光电

【发表日期】

：

2001年3期

【关键词】

：

椭圆偏振测量碲镉汞组分均匀性半导体材料 ellipsometric measurementHgCdTecompositional uniformity

【基金项目】

：

云南工业大学校科研和教改项目

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简略介绍了椭偏仪的测量原理和测量装置。分析了Hg1-xCdxTe(MCT)的组分与椭偏仪的参数Δ和ψ之间的关系，结果发现碲镉汞的组分x主要与椭偏仪的参数ψ有关，而且x与ψ的经验关系为ψ=14.84-10.22x。最后用椭圆偏振测量的方法分析了碲镉汞的横向和纵向组分均匀性。该方法具有非破坏性、有效、快捷的特点。

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