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ＧａＡｓ及其他Ⅲ－Ⅴ族半导体表面钝化一直是人们感兴趣的研究课题，在半导体器件制造工艺的发展中起着重要的作用，文章着重从钝化方法和钝化机理两方面简单地回顾了近年来ＧａＡｓ表面硫钝化的最新研究进展。
GaAs表面硫钝化研究新进展
【摘 要】
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ＧａＡｓ及其他Ⅲ－Ⅴ族半导体表面钝化一直是人们感兴趣的研究课题，在半导体器件制造工艺的发展中起着重要的作用，文章着重从钝化方法和钝化机理两方面简单地回顾了近年来ＧａＡｓ表面硫钝化的最
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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物理
【发表日期】
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2000年11期
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