【摘 要】
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在传统Σ-Δ架构基础上,引入了低精度高速模/数转换器（ADC）,将前置放大器输出的模拟电压信号转换为数字信号,有利于简化电容式微电子机械系统（MEMS）加速度计系统模拟接口电路设计
【机 构】
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中国科学院地质与地球物理研究所中国科学院油气资源研究重点实验室,中国科学院大学
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在传统Σ-Δ架构基础上,引入了低精度高速模/数转换器（ADC）,将前置放大器输出的模拟电压信号转换为数字信号,有利于简化电容式微电子机械系统（MEMS）加速度计系统模拟接口电路设计。在嵌入ADC的MEMS加速度系统中,采用过采样平均数字算法对信号进行估计,有效降低系统对前置放大器噪声性能的需求,利于实现低功耗和高精度的设计目标。仿真结果表明:与未采用过采样平均技术相比,当前置放大器输出等效噪声大于1μV/Hz1/2时,系统的信噪比（SNR）提高了约10 dB。
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