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介绍了一种制作 含有有固体润剂的自油微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用，能够有效地减少微电子机械接面面的微摩力和微电子机械的摩损，从而延长微电子机械的寿命。
自润滑微机械系统研究
【摘 要】
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介绍了一种制作 含有有固体润剂的自油微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用，能够有效地减少微电子机械接面面的微摩力和微电子
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年2期
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