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微电子机械系统计算机辅助设计
微电子机械系统计算机辅助设计
来源 :电子科技导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ppmm112233
【摘 要】
:
主要介绍MEMS计算机辅助设计的研究内容和发展,以及和MEMS CAD有关的MEMS标准化制造技术的发展情况。
【作 者】
:
黄庆安
秦明
【机 构】
:
东南大学
【出 处】
:
电子科技导报
【发表日期】
:
1999年10期
【关键词】
:
微机械加工技术
微电子机械系统
MEMS
CAD
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主要介绍MEMS计算机辅助设计的研究内容和发展,以及和MEMS CAD有关的MEMS标准化制造技术的发展情况。
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