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实验研究了,SOW紫外光照射下湿法酸洗提纯冶金级硅后，Al、Fe两种主要金属杂质的含量变化，并与普通无光照实验进行了对比分析。采用EMPA、ICP对纯化产品进行表征。实验结果表明，在相同反应时间下，以非氧化性酸和HF酸作为酸洗液，紫外光照射下Fe和Al的残留量比无光照条件下分别减少了41％和16．4％，纯度已接近无紫外光照下利用氧化性酸和HF酸酸洗的结果。同时发现以氧化性酸和HF酸作为酸洗液，紫外光照射下Fe和Al的残留量比无光照条件下也有明显下降，所降程度根据不同氧化性酸酸洗液而不同。