【摘 要】
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提出一种新颖的、蚀刻位相深度超过２π的深蚀刻二元光学技术，并从理论上分析深蚀刻二元光学元件与衍射效率的关系，然后用计算机进行模拟与分析，得到深蚀刻二元光学元件特性的一些
【机 构】
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四川大学信息光学研究所,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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提出一种新颖的、蚀刻位相深度超过２π的深蚀刻二元光学技术，并从理论上分析深蚀刻二元光学元件与衍射效率的关系，然后用计算机进行模拟与分析，得到深蚀刻二元光学元件特性的一些初步研究结果
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