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本文介绍一种具有纳米级测量准确度的非接触光探针扫描轮郭仪，其分辨力为１ｎｍ，量程１０μｍ。
非接触高准确度表面粗糙度测量仪
【摘 要】
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本文介绍一种具有纳米级测量准确度的非接触光探针扫描轮郭仪，其分辨力为１ｎｍ，量程１０μｍ。
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,北京优龙科贸公司
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1995年3期
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