【摘 要】
：
在声波透射与折射基本理论的基础上,设计制作了匹配层压电换能器结构的兆声抛光振子,提高了兆赫频超声抛光工具的声能量辐射效率。此外,通过对兆声压电振子的振动模式进行控
【基金项目】
：
辽宁省科学计划项目(2015020159)
论文部分内容阅读
在声波透射与折射基本理论的基础上,设计制作了匹配层压电换能器结构的兆声抛光振子,提高了兆赫频超声抛光工具的声能量辐射效率。此外,通过对兆声压电振子的振动模式进行控制,消除了高频圆片型压电振子本身存在的强烈的耦合振动效应。在制作完成兆声抛光振子的基础上,对抛光振子工作端的振动振幅进行了测试,在横向尺度上满足了兆声抛光工具头振动振幅均匀化的求。实现了一种用于硅片化学机械抛光的兆声抛光振子。为大尺寸硅片的化学机械抛光工艺提供了可借鉴的附加技术手段。
其他文献
介绍了我国铁路货车制造技术的发展与创新,阐述了27t轴重铁路货车研制过程中形成的工艺工程化理念,总结了我国铁路货车转向架、120阀精益制造经验,以及27t轴重铁路货车产品质
风险是药品的固有属性,需要全生命周期的控制。药物警戒和风险管理是管理药品风险的重要的监管科学工具。数据库的存在及数据的结构化对评估和控制药物风险至关重要,而对数据
本文研究对象X油田围绕'激发活力、提高效率、提升效益'的总体设想,创新区块承包管理新模式,采取'专注管理,业务外包'的模式管理区块,全面推行'组织项目
随着时代发展,知识与经济的结合更加紧密,高等教育日益成为推动社会经济发展的重要力量。在高校的日常教学管理工作中,教学秘书不仅是贯彻高校教育教学管理规章制度的重要纽
在经济全球化飞速发展的今天,食品专业的国际贸易和行业技术交流日益频繁,英语作为对外贸易过程中主流的媒介语言,在全球经济科技贸易一体化进程中扮演重要角色,培养一批具有
近年来全民创业万众创新,然而企业在蓬勃发展的过程中恶意欠薪的现象却层出不穷。究其原因,首先,许多用人单位为了一己私欲,罔顾劳动者的利益,拖欠劳动者的薪资报酬。更有甚
新的音乐课程标准中，提倡要创造新型的音乐教学模式，新的教学模式当然要从具体的课堂教学中体现出新的特色。无论从哪种意义上讲，就是不断地创新。随着新课程改革的深入，音乐课堂
随着我国社会经济的发展，我国社会经济发展所需要的资源需要逐渐增加，我国的资源现状并不十分乐观。煤化工产业的出现一定程度上可以缓解当前我国工业发展资源紧张的局面。但是
为了对下承式拱桥的吊杆损伤进行识别诊断,依托摄动理论,根据测点在吊杆损伤前后的位移差进行曲率的计算,并进行数据的统计与汇总,最终得出了一种下承式拱桥吊杆损伤的识别方
钓鱼网站一直是网络安全中需要解决的难题之一,它的隐蔽性很高,但造成的损失往往很大.针对钓鱼网站的研究,有很多学者通过机器学习算法对钓鱼网站和正常网站进行分类.根据在