【摘 要】
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首先对传统的圆平面磁控靶的形状进行改进，设计一个靶材利用率高的纯金靶．利用金合金的色区图，计算沉积不同Ｋ值和颜色的镀金膜时，组合式Ｋ金靶上金、银、铜的面积比，从而在纯金靶上固
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首先对传统的圆平面磁控靶的形状进行改进，设计一个靶材利用率高的纯金靶．利用金合金的色区图，计算沉积不同Ｋ值和颜色的镀金膜时，组合式Ｋ金靶上金、银、铜的面积比，从而在纯金靶上固定相应面积的扇形银片和铜片，研制出不同Ｋ值和色度的组合式金合金靶．
Firstly, the shape of the traditional circular planar magnetron target is improved, and a pure gold target with high target utilization is designed. Using the color map of the gold alloy, the area ratios of gold, silver and copper on the combined K gold target are calculated when depositing the gold plating film with different K values and colors so as to fix the corresponding area of the fan-shaped silver flake and the copper Film, developed a different K value and color combination of gold alloy target.
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