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在分析半经典模型和量子模型的基础上，得到包括量子效应和多晶硅耗尽效应的栅氧厚度提取模型．栅介质厚度模拟结果和椭偏仪所测实验结果吻合良好．
超薄SiO2栅介质厚度提取与分析
【摘 要】
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在分析半经典模型和量子模型的基础上，得到包括量子效应和多晶硅耗尽效应的栅氧厚度提取模型．栅介质厚度模拟结果和椭偏仪所测实验结果吻合良好．
【机 构】
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北京大学微电子学研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年10期
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