【摘 要】
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【摘要】高能粒子进入功率MOS器件后，会引起SEE（Single Event Effect）。本文对功率MOS器件的SEE效应的机理进行了分析，研究了SEE失效敏感性与器件结构的关系；最后采用LET=99 MeV/（mg/cm2）的Bi+进行了试验，试验结果表明这种加固技术可以有效提高器件的抗单粒子能力。 【关键词】功率MOS器件；单粒子 一、引言 航天器使用的功率MOS器件与地面使用的功率
【机 构】
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高能粒子进入功率MOS器件后，会引起SEE(Single Event Effect)。本文对功率MOS器件的SEE效应的机理进行了分析，研究了SEE失效敏感性与器件结构的关系；最后采用LET=99 MeV/(mg/cm2)的Bi+进行了试验，试验结果表明这种加固技术可以有效提高器件的抗单粒子能力。
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