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我们首次提出在β衰变诱发X射线谱技术（BIXS）中采用金属薄膜代替氩气作为β射线阻挡层来获得氚化钛薄膜样品中氚含量及深度分布信息的方法。本文利用基于Monte Carlo方法的PENELOPE并行模拟程序,分别模拟了以Al、Au金属薄膜和Ar气作为β射线阻挡层的BIXS技术。为了得到可靠的氚分布反演结果,我们比较了GENEREG与Regularization Tools（Regutools）两种反演程序包的反演方法,研究表明GENEREG程序的反演结果较好。