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形状记忆合金（SMA）作为新型功能材料已广泛用于各种微电子机械系统（MEMS）中。此次研究是一种新型有阀微泵的设计。该微泵的结构简单,采用NiTi形状记忆合金薄膜作为微驱动薄膜,采用钢珠-弹簧作为单向阀的有阀微泵,钢珠和弹簧直径都为5mm,泵腔为直径10mm高为15mm的有机玻璃圆柱体。
基于NiTi形状记忆合金精密微泵的设计
【摘 要】
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形状记忆合金（SMA）作为新型功能材料已广泛用于各种微电子机械系统（MEMS）中。此次研究是一种新型有阀微泵的设计。该微泵的结构简单,采用NiTi形状记忆合金薄膜作为微驱动薄膜,采
【机 构】
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南昌工程学院
【出 处】
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科技信息
【发表日期】
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2011年29期
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