【摘 要】
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本文通过两种台阶高度测试方法的测试比对,佐证了白光干涉技术在微米级台阶高度测量方面精度很高。首先,介绍了白光干涉仪的测量原理,详细介绍了该仪器的组成及测量过程;其次
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本文通过两种台阶高度测试方法的测试比对,佐证了白光干涉技术在微米级台阶高度测量方面精度很高。首先,介绍了白光干涉仪的测量原理,详细介绍了该仪器的组成及测量过程;其次,对台阶高度的定义及其表征方法进行了论述,为台阶高度的测量提供了规范性的指导;最后,分别使用白光干涉仪和纳米坐标测量机(NMM)对本单位研制的2μm~100μm 的6 块台阶高度标准样块进行了比对测量,比对结果的En 值最大为-0.4,表明白光干涉仪测量台阶高度精度很高,完全满足微米级台阶测量需求。在半导体、微纳电子制造工艺中, 白光干涉技术是
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