【摘 要】
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用溶胶-凝胶法在石英玻璃基底上制备了ZnO：Al（ZAO）薄膜，研究了热处理温度和Al掺杂含量对薄膜红外发射率的影响。通过XRD和SEM分析了薄膜的微观结构和表面形貌，用光谱辐射计测量了
【机 构】
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西北工业大学凝固技术国家重点实验室
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用溶胶-凝胶法在石英玻璃基底上制备了ZnO：Al（ZAO）薄膜，研究了热处理温度和Al掺杂含量对薄膜红外发射率的影响。通过XRD和SEM分析了薄膜的微观结构和表面形貌，用光谱辐射计测量了薄膜在8～14μm波段的光谱发射率。结果表明，制备的ZAO薄膜都具有ZnO六角形纤锌矿结构，没有生成杂质相。热处理温度是影响薄膜在8～14μm波段平均红外发射率（ε）的主要因素。随热处理温度的升高和Al掺杂含量的增加，薄膜的ε值有降低的趋势。
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