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介绍了高温湿法刻蚀设备在LED芯片制造中图形化衬底制备工艺（PSS）及激光正切后侧边腐蚀工艺两方面的应用;论述了高温强酸刻蚀湿法设备组成、结构及单元模块的功能。
全自动高温湿法刻蚀设备的研制
【摘 要】
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介绍了高温湿法刻蚀设备在LED芯片制造中图形化衬底制备工艺（PSS）及激光正切后侧边腐蚀工艺两方面的应用;论述了高温强酸刻蚀湿法设备组成、结构及单元模块的功能。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年12期
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