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本文论述了微机械的概念、特点、研究现状,以及微细加工技术的现状.最后介绍了微机械的应用研究方向.
微机械及其微细加工技术的现状和应用研究
【摘 要】
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本文论述了微机械的概念、特点、研究现状,以及微细加工技术的现状.最后介绍了微机械的应用研究方向.
【机 构】
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上海市静安区业余大学
【出 处】
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机电一体化
【发表日期】
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2002年3期
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