【摘 要】
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芯片中的钴互连作为铜互连之后的下一代互连技术受到了业界的极大关注，且已经引入集成电路7 nm以下的制程。钴互连主要采用湿法的电化学沉积技术，但由于保密原因和研究条件的限制，其研究报道不多。本文基于现有专利、文献报道较系统地介绍了钴互连技术的优势及发展现状，并从溶液化学和电化学角度综述了钴互连电镀基本工艺、基础镀液组成与添加剂、超填充电镀机理，以及镀层退火控制与杂质影响等的研究现状，并对钴互连技术下
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（No.62004124,No.61376107）资助；
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芯片中的钴互连作为铜互连之后的下一代互连技术受到了业界的极大关注，且已经引入集成电路7 nm以下的制程。钴互连主要采用湿法的电化学沉积技术，但由于保密原因和研究条件的限制，其研究报道不多。本文基于现有专利、文献报道较系统地介绍了钴互连技术的优势及发展现状，并从溶液化学和电化学角度综述了钴互连电镀基本工艺、基础镀液组成与添加剂、超填充电镀机理，以及镀层退火控制与杂质影响等的研究现状，并对钴互连技术下一步研究进行了展望。
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