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在反应溅射工艺中，反应气体流量和沉积速率、反应气体气压、靶电压之间存在迟滞关系。为了保证反应溅射稳定以及保持溅射率高和反应气体利用率高，需要对反应溅射系统进行精确控制。PID神经网络（PIDNN）控制器具有PID控制的快速收敛特点和神经网络的非线性逼近能力，适合对非线性反应溅射系统的控制。本文用PID神经网络（PIDNN）控制器对反应溅射系统进行精确控制。在S．Berg给出的反应溅射系统模型基础上，对反应溅射系统的PIDNN控制进行仿真。仿真结果表明，PIDNN控制器能够稳定反应溅射过程，并且收敛速度较快