AlN在α—Al2O3(0001)表面吸附过程的理论研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:khalista5
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采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势法,对α-Al2O3(0001)表面吸附AlN进行了动力学模拟计算,研究了AlN分子在α-Al2O3(0001)表面吸附成键过程、吸附能量与成键方位。计算表明吸附过程经历了物理吸附、化学吸附与稳定态形成的过程,其化学结合能达到4.844eV。吸附后A1N化学键(0.189±0.010nm)与最近邻的表面Al—0键有30°的偏转角度,灿在表面较稳定的化学吸附位置正好偏离表面O六角对称约30°,使得AlN与蓝宝石之间的晶格失配度降低。
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