Synthesis and Electrical Characterization of ZrO2 Thin Films on Si(100)

来源 :现代物理(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：delicious_bupt

【摘要】

：

The ZrO2 thin films deposited on Si (100) were successfully synthesized by solgel process and deposited by using spin-coating technique.The structural propertie

【作者】

：

Vijay Ramkrishna Chinchamalatp

【机构】

：

不详

【出处】

：

现代物理(英文)

【发表日期】

：

2012年1期

【关键词】

：

SOL-GEL Technique ZRO2 THIN Film C –V I-V Sol-Gel TechniqueZrO2 Thin FilmC –VI-V

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The ZrO2 thin films deposited on Si (100) were successfully synthesized by solgel process and deposited by using spin-coating technique.The structural properties of ZrO2 thin films were investigated by X-Ray Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscope

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