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以掺杂质量数为2%的Al2O3:ZnO为靶材,用激光脉冲沉积法,通过改变氧压和衬底温度调整薄膜的性能,制备得到相对优质的ZnO:Al薄膜,采用x射线衍射、紫外-可见分光光度计和霍尔效应测试仪等表征其物相、光学和电学性能,最终得到电阻率为1.27×10^-3Ω/cm^-3、平均光透过率超过80%的透明导电薄膜。