聚碳酸酯镜片表面沉积类金刚石耐磨涂层

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wolfcner

【摘要】

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采用射频辉光放电等离子体化学气相沉积(RF-PCVD)法在聚碳酸酯(PC)表面沉积类金刚石(DLC)薄膜.研究了功率、气体浓度和沉积时间等条件对薄膜性能的影响,优化了工艺条件;用X射

【作者】

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苏葆辉何子博冉均国苟立王方瑚

【机构】

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四川大学

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2005年z1期

【关键词】

：

聚碳酸脂等离子体化学气相沉积类金刚石膜耐磨性能

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采用射频辉光放电等离子体化学气相沉积(RF-PCVD)法在聚碳酸酯(PC)表面沉积类金刚石(DLC)薄膜.研究了功率、气体浓度和沉积时间等条件对薄膜性能的影响,优化了工艺条件;用X射线光电子能谱测定了薄膜的组成;评价了薄膜的耐磨性能和附着性能.结果表明:PC镜片表面沉积附着性好的DLC薄膜能提高材料表面的耐磨性能.

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