【摘 要】
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采用毫秒Nd∶YAG脉冲激光在不同的保护气体作用下对钇铝石榴石（yttrium aluminum garnet,YAG）晶面单脉冲损伤及多脉冲切割进行了研究,激光损伤及切割断口形貌采用SEM进行表征。
【机 构】
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黑龙江科技大学材料科学与工程学院,哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所.黑龙江哈尔滨150001
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采用毫秒Nd∶YAG脉冲激光在不同的保护气体作用下对钇铝石榴石（yttrium aluminum garnet,YAG）晶面单脉冲损伤及多脉冲切割进行了研究,激光损伤及切割断口形貌采用SEM进行表征。结果表明：单脉冲TEM00模式Nd∶YAG激光对YAG晶体损伤时,表面能够生成锥形烧蚀坑（钥匙孔）,且烧蚀坑的熔融层约几个微米;毫秒多脉冲Nd∶YAG激光在Ar,N2,O2保护下切割YAG单晶体,切割深度与保护气第一电离能相关。切割状态下,断口出现爆沸现象,产生的气泡形貌与保护气氛有关。
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