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聚对二甲苯因其优异的物理化学性质而被广泛应用于半导体、传感器和库存武器防护等。本文主要研究了热丝辅助裂解电阻蒸发法制备该薄膜的制备工艺 ,并采用红外、质谱和热重等分析方法对薄膜的成分进行初步分析。分析表明在热丝的辅助裂解作用下 ,在较低的温度下就可聚合成膜 ,薄膜中主要成分是聚对二甲苯 ,但同时存在一定比例的交联成分