【摘 要】
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分析了不同烧结温度下ITO靶材的金相组织.结果表明：当烧结温度为1 500℃,靶材金相组织呈现烧结中期典型烧结颈组织;当烧结温度为1 530℃时,靶材组织是烧结中期与烧结后期过渡
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分析了不同烧结温度下ITO靶材的金相组织.结果表明：当烧结温度为1 500℃,靶材金相组织呈现烧结中期典型烧结颈组织;当烧结温度为1 530℃时,靶材组织是烧结中期与烧结后期过渡阶段的组织,晶界还未稳定,致密性差;当烧结温度为1 560℃和1 590℃时,靶材的组织稳定,致密性高,但是1 590℃烧结靶材晶粒偏大,晶界稳定性稍差;当烧结温度为1 620℃和1 650℃时,组织的晶界开始熔解,而且晶粒变得圆滑,尤其是在1 650℃烧结后,组织中晶粒是游离的近球形.通过SEM分析,验证了金相组织分析正确性,而
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