【摘 要】
：
研究了在200℃热靶条件下经Si~+单注入和S~++P~+双注入的半绝缘InP常规热退火和快速热退火后的电学特性。热退火后,双注入样品中的电学性能优于单注入样品。采用快速热退火后
论文部分内容阅读
研究了在200℃热靶条件下经Si~+单注入和S~++P~+双注入的半绝缘InP常规热退火和快速热退火后的电学特性。热退火后,双注入样品中的电学性能优于单注入样品。采用快速热退火后,双注入的效果更加显著。Si~+150keV,5×10~(14)cm~(-2)+P~+160keV,5×10~(14)cm~(-2)双注入样品经850℃、5秒快速效退火后,最高载流子浓度达2.6×10~(19)cm~(-3),平均迁移率为890cm~2/V·s。
其他文献
河南传统产业量大面广、门类齐全。资产总额和工业产值约占全省工业总量的80％以上。河南作为传统产业大省，要实现由绎济大省向经济强省跨越、实现经济增长方式的根本转变，必须加
五一劳动节前夕,中共中央总书记胡锦涛在北京出席全国劳动模范表彰大会。胡锦涛在大会致辞时提出,要不断增加劳动者特别是一线劳动者的劳动报酬,让广大劳动群众实现体面劳动
河南省省长李成玉在河南省科学技术奖励大会上发言指出，近年来，科技工作为经济社会发展做出了新的更大贡献。全省的科技创新能力不断提高，重大科技成果不断涌现；科技体制改革稳步
2005年12月20日．中科院七楼的一间会议室，中国发展战略学研究会创新战略专业委员会国家创新系统讨论会正在举行。2004年12月29日．胡锦涛在中国科学院考察工作时强调，加快提高我国
15世纪的明朝，当钦天监有名无实的天文官们正吃着老本优哉游哉。此时的欧洲，则正经历着他们基督教发展史上的一起重要事件——基督教分裂。分裂的起因在于罗马教会的腐败让多数
目的探讨延续性护理在呼吸衰竭患者从ICU转入普通病房后的运用价值。方法选择本科ICU于2013年8月-2016年1月收治慢性阻塞性肺疾病伴呼吸衰竭并成功转出患者共70例为对象。采
介绍了一种新型六路小型集成光电耦合器.它采用独立腔体分隔技术,在24DIP陶瓷双列直插管座内制作而成,设计先进、性能可靠,具有广阔的应用前景.重点叙述了该器件的结构特性、
设计研制了一种新的YBCO薄膜三端器件,该器件利用半导体硅薄膜与YBCO薄膜相接触,从而发现了微弱信号下的开关和放大效应.器件能在液氮或室温工作.器件制造工艺简单.
要进一步加强自主创新能力建设，需要强化“三大循环”。
红外焦平面阵列固有的非均匀性严重地制约着其成像系统的成像质量,必须对其进行补偿校正.在深入地研究了非均匀性的各种来源及其表现形式的基础上,论述了校正原理,并提出了一