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期刊论文
陶瓷微珠的抛光研究
陶瓷微珠的抛光研究
来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:spredsheng
【摘 要】
:
通过对氧化铝、莫来石陶瓷微珠进行抛光研究.研究了不同抛光条件,水基、油基等不同基体,不同磨料对于微珠抛光效果的影响.证实氧化铈对微珠抛光有良好效果,并尝试从微观角度
【作 者】
:
张辛玥
杨金龙
黄勇
【机 构】
:
清华大学材料科学与工程系
【出 处】
:
稀有金属材料与工程
【发表日期】
:
2005年z1期
【关键词】
:
陶瓷微珠
抛光
CMP
【基金项目】
:
国家"863"计划资助(2001AA337060)
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通过对氧化铝、莫来石陶瓷微珠进行抛光研究.研究了不同抛光条件,水基、油基等不同基体,不同磨料对于微珠抛光效果的影响.证实氧化铈对微珠抛光有良好效果,并尝试从微观角度分析原因.
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