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微机械光学器件
微机械光学器件
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:test1987
【摘 要】
:
微机械光学器件是利用MEMS技术制作的光学元件及器件,目前制备出的微光学器件主要有微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
微光学器件
微机械
外腔激光器
光学元件
技术制作
MEMS
变焦透镜
光编码器
扫描器
斩光器
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微机械光学器件是利用MEMS技术制作的光学元件及器件,目前制备出的微光学器件主要有微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等。
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