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多阶相位器件是一类具有极高衍射效率的光学元件,主要应用于光互连、光通信、平面光学、折衍混合光学等方面.本文采用电子束直写曝光的方法,利用HEBS玻璃制作变灰阶掩模,实验测得掩模透过率误差不超过0.7%,制得菲涅尔透镜台阶高度误差不超过16%,证实了该方法的实用性和可靠性.
HBES玻璃制作多阶相位结构灰阶掩模
【摘 要】
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多阶相位器件是一类具有极高衍射效率的光学元件,主要应用于光互连、光通信、平面光学、折衍混合光学等方面.本文采用电子束直写曝光的方法,利用HEBS玻璃制作变灰阶掩模,实验
【机 构】
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长春理工大学
【出 处】
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现代交际
【发表日期】
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2004年期
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