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自组装半导体量子点在纳米电子器件中的应用
自组装半导体量子点在纳米电子器件中的应用
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:XIAO13075674309
【摘 要】
:
随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程.自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用
【作 者】
:
孙捷
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
微电子工艺
量子特性
自组装半导体量子点
纳米电子器件
micro-electronic technique
quantum effect
self-ass
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随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程.自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中.本文按纵向输运器件、横向输运器件的分类扼要评述了该领域的最新进展,并对待解决的问题和发展前景作了分析.
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