【摘 要】
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本文研究了多层夹心结构磁光盘的设计与制备工艺;利用以光学薄膜导纳特征矩阵为基础的优化计算技术,计算了限制反射率的四层夹心结构的磁光特性;使用射频溅射技术制备出“133
【机 构】
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本文研究了多层夹心结构磁光盘的设计与制备工艺;利用以光学薄膜导纳特征矩阵为基础的优化计算技术,计算了限制反射率的四层夹心结构的磁光特性;使用射频溅射技术制备出“133mm PC基/AlN/TbFeCo/AlN/Al”高性能磁光盘.盘片的有效Kerr旋转角θ>1°,相应的反射率R>25%,品质因子F的实验值与优化计算值一致 .
In this paper, the design and fabrication process of multi-layer sandwich magneto-optical disk are studied. The magneto-optical properties of the four-layer sandwich structure with limited reflectance are calculated by using the optimization calculation technique based on the admittance matrix of optical thin film. The “133mm PC-based / AlN / TbFeCo / AlN / Al” high performance magneto-optical disk is prepared. The effective Kerr rotation angle of the disk is θ> 1 ° and the corresponding reflectivity R> 25%. The experimental results of the quality factor F and the optimized calculation The same value.
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