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介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计；平台设计了无爬行的磁浮-滑动复合导轨；引入了“共平面“的导向模式，实现近零阿贝误差；并对二维定位平台力平衡和系统热效应作了优化设计。计算和实验结果表明，平台能有效解决低速驱动时的爬行问题，实现微小步距进给，满足微纳米级定位平台的要求。
新型Nano—CMM二维定位平台研究
【摘 要】
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介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计；平台设计了无爬行的磁浮-滑动复合导轨；引入了“共平面“的导向模式，实现近零阿贝误差；并对二维定位平台力平衡和系统热
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
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合肥工业大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2006年12期
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