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阳极氧化铝模板的厚度测量多是利用电子显微镜技术，对其表面及截面进行直观观察，但此方法存在测量周期长和测量费用高的缺点，测量精度也不够高。南京理工大学化工学院通过自制的电容器模型，利用氧化铝薄膜具有的介电性能可以快捷地获得氧化膜厚度的信息，有助于氧化工艺参数的优化及阳极氧化过程的研究。
阳极氧化铝薄膜厚度测试方法研究
【摘 要】
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阳极氧化铝模板的厚度测量多是利用电子显微镜技术，对其表面及截面进行直观观察，但此方法存在测量周期长和测量费用高的缺点，测量精度也不够高。南京理工大学化工学院通过自制的
【出 处】
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表面工程资讯
【发表日期】
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2005年1期
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