【摘 要】
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研究了坐标测量机（CMM）尺寸测量的不确定度评定方法。建立了符合ISO国际标准的测量不确定度评定黑箱模型。利用测量系统分析的方法，对6项量值特性指标引入的不确定度分量进行量
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽省计量科学研究院
【基金项目】
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国家自然科学基金(51275148);合肥工业大学青年教师创新项目(JZ2014HGQC0126)
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研究了坐标测量机（CMM）尺寸测量的不确定度评定方法。建立了符合ISO国际标准的测量不确定度评定黑箱模型。利用测量系统分析的方法，对6项量值特性指标引入的不确定度分量进行量化分析或实验标定，依据产品几何技术规范给出了各不确定度分量的评定模型。最后，通过工件直径测量的不确定度评定实例验证该方法的可行性。实验结果表明CMM尺寸测量的不确定度主要来源是偏倚和线性，不确定度分量为1．88μm，是所有其他分量合成的2倍以上，而温度补偿引入的不确定度分量仅为0．04μm，在实际测量中可忽略不计。
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