【摘 要】
：
MEMS耐高温压力传感器在封装结构上采用薄膜隔离式结构,在油腔与波纹片所形成的密闭容腔里面填充高温硅油。由于传感器的工作温度达250℃,硅油、壳体基座及波纹片将会产生不
【机 构】
：
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
论文部分内容阅读
MEMS耐高温压力传感器在封装结构上采用薄膜隔离式结构,在油腔与波纹片所形成的密闭容腔里面填充高温硅油。由于传感器的工作温度达250℃,硅油、壳体基座及波纹片将会产生不同程度的热膨胀,最终将给压阻力敏芯片形成一定附加压力,严重影响传感器的精度。文中主要就硅油、壳体基座及波纹片在250℃工作时由于不同的热膨胀系数而导致的膨胀不一致情况进行ANSYS仿真分析,研究了平膜膜片及波纹状膜片情况下的硅油热膨胀问题,最后相应地得到了硅油相对于壳体和波纹片的热膨胀率,同时分析得出了合理设计波纹片结构可以有效减小硅油热膨
其他文献
酚类化合物被广泛用于化工、制药、染料、制革和化妆品等诸多领域。目前,有关酚类物质的测定方法很多,但是这些方法或者需要较长的时间进行前处理,或者分析图谱较麻烦,所以寻
21世纪以来,人类正在经历第三次工业革命即信息革命,科学技术的发展让各种智能设备广泛应用到社会生活之中,随之带来数据信息的增加。现如今,数据信息已经成为各个行业所必需
随着我国经济水平的不断提高,人民群众对于自身生活质量和生活品质的要求也越来越高,这就极大地促进了我国社会经济交易活动的开展。企业在进行社会经济活动交易的过程中,要
目的:分析双腔球囊式导尿管应用于清洁灌肠老年患者的治疗效果。方法:随机选择124例在医院接受治疗的老年便秘患者。将以常规清洁灌肠法治疗的61例归为对照组,将经过双腔球囊
利用中国知网中文文献数据库检索2017年7月之前有关发作性睡病针灸治疗的相关文献28篇,通过归纳分析发现,针灸治疗发作性睡病主要从心、脾、脑论治,也有从阴阳失调或脏腑功能
<正>江苏昆山和太仓本为一县,明弘治十年(1497)分列,所以有些之前合并时的文化资源可以共享,但有些重要的历史事件不能东拉西扯混为一谈,否则会让人贻笑大方。如建于元末的玉
第一章：首先简述了非除氧室温磷光的研究背景,重点介绍了环糊精诱导的非除氧室温磷光法的几种典型体系。然后简要介绍了手性识别的方法以及常用的手性选择剂。最后介绍了论文
NOx存储-还原(NSR)技术是一种可以脱除贫燃尾气中NOx的有效方法,最早由日本丰田汽车公司提出,近年来受到人们的广泛关注和重视。现阶段,NSR催化剂的研究主要集中在Pt-Ba-Al体
唐代是中国古代婚姻史中夫妻关系观念发生重大变化的时期,婚姻中的夫妻之情一定程度上受到社会重视。唐代婚姻缔结过程中当事人具有较大的自主性,这为婚后良好的夫妻感情奠定
射频隐身是先进隐身飞机器的重要特征。低分选脉冲重复间隔设计是提高飞机器雷达射频隐身性能的一条重要途径。文中通过分析累积差值直方图法、序列差值直方图法和脉冲重复间