【摘 要】
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给出了一种适用于光的衍射和透射双重作用下的边沿定位算法，能够准确定位曝光对象投影图像的边沿。分析了普通单色可见光的衍射模型在透射环境下的局限性，然后根据菲涅尔衍射模
【机 构】
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山东建筑大学信息与电气工程学院山东省智能建筑技术重点技术实验室,山东济南250101／山东大学控制科学与工程学院,山东济南250061山东大学控制科学与工程学院,山东济南,250061;山东青年政治学
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给出了一种适用于光的衍射和透射双重作用下的边沿定位算法，能够准确定位曝光对象投影图像的边沿。分析了普通单色可见光的衍射模型在透射环境下的局限性，然后根据菲涅尔衍射模型和透射性光线的衰减定律，提出了衍射和透射双重作用下的光强模型，基于该模型推导了边沿定位算法。所提出的新光学模型，是单色光的菲涅尔衍射模型在透射情形下的推广，边沿定位是该模型的一个重要应用。经过使用待定系数法计算曝光对象材料的衰减系数集，使该算法独立于曝光对象的具体材质。实验结果验证了该算法的定位精度和效率均优于算子法。
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