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塑封器件已经大量在工程中使用,需要使用非破坏性的声学扫描显微镜检查技术来有效剔除存在早期缺陷的塑封器件。塑封器件典型的缺陷包括分层、空洞、裂纹。论文描述了典型的三种扫描模式,提出了提高声扫试验效率的方法,并且对相关的声学扫描显微镜检查技术标准进行了探讨,提出了改进的建议。
塑封器件声学扫描显微镜检查技术及标准探讨
【摘 要】
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塑封器件已经大量在工程中使用,需要使用非破坏性的声学扫描显微镜检查技术来有效剔除存在早期缺陷的塑封器件。塑封器件典型的缺陷包括分层、空洞、裂纹。论文描述了典型的
【机 构】
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航天科工二院二0一所微电子器件可靠性研究室
【出 处】
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计算机与数字工程
【发表日期】
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2015年1期
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