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利用俄歇电子能谱确定Au-Cu系统的互扩散系数及晶界扩散系数
利用俄歇电子能谱确定Au-Cu系统的互扩散系数及晶界扩散系数
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaoyuanhappy2008
【摘 要】
:
本文利用俄歇电子能谱(PHI-550)测得了经过不同时间间隔热处理的Au-Cu系统中铜在金薄膜内的浓度剖面。根据铜的浓度斟面及Hall公式,我们使用了两种方法——“中心梯度法”及
【作 者】
:
刘友婴
李望
展振宗
魏保安
刘宝英
【机 构】
:
南开大学电子科学系,理化工程研究院,天津一轻局职工大学,南开大学电子科学系天津,天津,天津
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1990年3期
【关键词】
:
互扩散系数
Au-Cu
晶界扩散
平坦区
俄歇电子
梯度法
时间间隔
溅射时间
晶粒尺寸
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本文利用俄歇电子能谱(PHI-550)测得了经过不同时间间隔热处理的Au-Cu系统中铜在金薄膜内的浓度剖面。根据铜的浓度斟面及Hall公式,我们使用了两种方法——“中心梯度法”及“平坦区上升法”计算出Au-Cu系统的互扩散系数以及晶界扩散系数。本文还对上述计算结果进行了讨论。
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