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SOI工艺因其独特的器件特性而被物联网时代所追捧。相对精准的器件模型显得愈加重要。这是在SOI器件特性和模型理论的基础上,采用PSP-SOI（PD）模型提取了一套完整的射频模型,并对模型进行了直流、交流、高频小信号以及大信号非线性等方面的一系列的验证,基本满足各项指标要求。证明了该模型在RF SOI领域的有效性。