微机械加工技术

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介绍了半导体加工技术、LIGA工艺及精密加工技术等在微机械加工技术中的应用。微机械的研究发展以及在医疗、生物工程等方面的应用,必将给人类的生产和生活带来巨大的变化。 Introduced the semiconductor processing technology, LIGA technology and precision machining technology in micromachining technology. The research and development of micromachines and their applications in medical treatment and bioengineering will surely bring about tremendous changes in human production and life.
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