【摘 要】
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研制了一套应用于可见光波段(中心波长632.8 nm)的二元光学谐衍/折混合光学系统。设计要求为:焦距120 mm,入瞳孔径60 mm,F/#数为2,波面峰谷值(P-V)在λ/10以下。因为加工误差
【机 构】
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浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室 浙江杭州310027,浙江杭州3
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研制了一套应用于可见光波段(中心波长632.8 nm)的二元光学谐衍/折混合光学系统。设计要求为:焦距120 mm,入瞳孔径60 mm,F/#数为2,波面峰谷值(P-V)在λ/10以下。因为加工误差等因素,其P-V测得约λ/5,但已满足Strehl判据(<λ/4),结果验证了二元光学元件(BOEs)在可见光波段应用的可行性。系统中,二元面采用8台阶3次套刻,掩模最小线宽为102μm。根据测试结果,提出了改进现有系统缺陷的方向和措施。
A binary optical harmonic diffractive / folded hybrid optical system for visible light (632.8 nm) has been developed. The design requirements are: focal length 120 mm, entrance pupil diameter 60 mm, number of F / # 2, wavefront peak value (P-V) below λ / 10. Due to the processing error and other factors, the P-V measured about λ / 5, but the Strehl criterion (<λ / 4) has been met. The results verify the feasibility of applying BOEs to visible light. In the system, the binary surface is covered with 8 steps and 3 times, the minimum mask width is 102μm. According to the test results, the direction and measures to improve the existing system defects are proposed.
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