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等离子体加工用的感应等离子体
等离子体加工用的感应等离子体
来源 :国外核聚变与等离子体应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jianghladros
【摘 要】
:
因为在单一晶片蚀刻工具中要求高等离子体密度和低压力,所以已经和正在研制大量商业出售的感应蚀刻装置。本文回顾低压力感应等离子体的一些历史,给出感应等离子体的特性。限制
【作 者】
:
Kell.
JH
晨亮
【出 处】
:
国外核聚变与等离子体应用
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
感应等离子体
等离子体加工
蚀刻工具
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因为在单一晶片蚀刻工具中要求高等离子体密度和低压力,所以已经和正在研制大量商业出售的感应蚀刻装置。本文回顾低压力感应等离子体的一些历史,给出感应等离子体的特性。限制及校正,并介绍等离子体加工的用途,也讨论了趋肤深度,rf线圈阻抗和效率的理论。
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