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综述了TCO薄膜的研究现状，ITO和ZAO薄膜是2种主要的TCO薄膜，其中ITO薄膜是目前应用最广泛的薄膜，ZAO薄膜是目前研究的热点，具有替代ITO的潜能。另外，就透明导电膜目前存在的问题以及发展展望进行了分析讨论。
透明导电氧化物薄膜的研究现状及展望
【摘 要】
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综述了TCO薄膜的研究现状，ITO和ZAO薄膜是2种主要的TCO薄膜，其中ITO薄膜是目前应用最广泛的薄膜，ZAO薄膜是目前研究的热点，具有替代ITO的潜能。另外，就透明导电膜目前存在的问题以
【机 构】
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武汉理工大学材料科学与工程学院,山东理工大学分析测试中心
【出 处】
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现代技术陶瓷
【发表日期】
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2006年1期
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