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士兰微电子早在三年前开始进行MEMS传感器技术和产品的研发，并在MEMS传感器件的设计、信号处理芯片的设计、MEMS芯片工艺制造技术、MEMS封装技术、传感器测试技术等领域投入了全方位的研发资源，并于近期取得实质性进展，推出了三轴加速度传感器SC7A30和三轴磁传感器SC7M30。
士兰微电子再创MEMS传感器新品
【摘 要】
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士兰微电子早在三年前开始进行MEMS传感器技术和产品的研发，并在MEMS传感器件的设计、信号处理芯片的设计、MEMS芯片工艺制造技术、MEMS封装技术、传感器测试技术等领域投入了
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2013年9期
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