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采用光刻热熔法及离子束溅射刻蚀制作面阵石英柱微透镜阵列，表面探针和扫描电子显微镜的测试表明，在不同的工艺条件下制成的柱微透镜的表面轮廓具有明显的差异，给出了描述柱微透镜制作 过程中的几个重要参量的拟合关系式。
用于强功率半导体激光器的石英柱微透镜阵列
【摘 要】
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采用光刻热熔法及离子束溅射刻蚀制作面阵石英柱微透镜阵列，表面探针和扫描电子显微镜的测试表明，在不同的工艺条件下制成的柱微透镜的表面轮廓具有明显的差异，给出了描述柱微透
【机 构】
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华中理工大学光电子工程系
【出 处】
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华中理工大学学报
【发表日期】
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1998年A02期
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