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介绍了形状记忆合金/硅(NiTi / Si)复合膜驱动的微型无阀泵的结构及工作原理,采用Matlab对微泵的压力P和流量Q进行了计算和仿真,并将仿真结果与实验结果进行了对比.通过分析驱动膜的驱动频率与泵的几何结构对微泵性能的影响,得到微泵的优化方案.
NiTi／Si薄膜驱动微型无阀泵的系统研究
【摘 要】
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介绍了形状记忆合金/硅(NiTi / Si)复合膜驱动的微型无阀泵的结构及工作原理,采用Matlab对微泵的压力P和流量Q进行了计算和仿真,并将仿真结果与实验结果进行了对比.通过分析
【机 构】
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浙江大学,上海交通大学
【出 处】
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机械科学与技术
【发表日期】
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2003年6期
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