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本文研究了一种采用了微加工工艺的平面膜栅形结露敏感电容元件，可用于露点仪的结露控制。文中给出了元件的容值计算方法及其经设计方法和敏感特性。
平面栅形结露检测电容及其敏感模型研究
【摘 要】
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本文研究了一种采用了微加工工艺的平面膜栅形结露敏感电容元件，可用于露点仪的结露控制。文中给出了元件的容值计算方法及其经设计方法和敏感特性。
【机 构】
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清华大学自动化系
【出 处】
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电子测量与仪器学报
【发表日期】
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1999年3期
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