金属氧化物半导体气敏传感器专利技术综述

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金属氧化物半导体气敏传感器是现今应用最广、研究最充分的气体传感器领域之一。本文通过专利技术的角度出发,对国内外该专利技术文献进行了统计分析,研究了金属氧化物半导体气体传感器领域的专利申请量、申请时间、申请人的分布特点。
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